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单晶炉用自控式加热系统

基本信息

申请号	CN201210205675.0	申请日	-
公开（公告）号	CN102828236B	公开（公告）日	2016-01-13
申请公布号	CN102828236B	申请公布日	2016-01-13
分类号	C30B15/14(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I	分类	晶体生长〔3〕;
发明人	林游辉	申请（专利权）人	合肥景坤新能源有限公司
代理机构	安徽合肥华信知识产权代理有限公司	代理人	张永芳
地址	231602 安徽省合肥市肥东县长乐乡涧南村后牛组
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种单晶炉用自控式加热系统，包括置于炉体内上石墨加热器、下石墨加热器，上石墨加热器、下石墨加热器分别连接有电源系统，上石墨加热器、下石墨加热器分别呈方波状，上石墨加热器、下石墨加热器的间距内设有梳状排布的导热板，相邻的导热板之间有连接筋，上石墨加热器的下端与下石墨加热器的上端之间有间隙，上石墨加热器下端与下石墨加热器上端的间隙中设有隔热板，隔热板伸向坩埚；采用了分段式组合石墨加热器，双电源系统，化料时双石墨加热器同时工作，大大缩短了熔硅时间，化料结束后降低下石墨加热器功率，以上石墨加热器为主石墨加热器进行生长，使热场的底部温度下降且不影响晶体的生长，减小了传统热场顶部与底部的温差。