单晶炉用伸展式热屏蔽器

基本信息

申请号 CN201210205680.1 申请日 -
公开(公告)号 CN102758258B 公开(公告)日 2016-01-13
申请公布号 CN102758258B 申请公布日 2016-01-13
分类号 C30B35/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I;C30B15/00(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 林游辉 申请(专利权)人 合肥景坤新能源有限公司
代理机构 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 代理人 张永芳
地址 231602 安徽省合肥市肥东县长乐乡涧南村后牛组
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种单晶炉用伸展式热屏蔽器,包括有围绕于硅单晶棒外热屏,热屏的上端连接有热屏上盖,热屏上盖的下方设有上保温筒,所述热屏是由热屏外壳、热屏内壳及中间的热屏保温层组成,热屏呈圆台状,且具有中央通道,热屏与热屏上盖之间的夹角为40-50°,中央通道的纵剖面为梯形,热屏外侧滑动配合有延伸热屏,延伸热屏外侧连接有推动气缸,推动气缸的缸体固定于热屏上盖上。在一定程度上增加了熔硅的纵向温度梯度,同时采用延伸热屏后,可以调节氩(氮)气流对固-液界面的吹拂高度,增强了氩(氮)气流携带结晶潜热的作用因此有利于单晶生长,并可以提高结晶速率,进而提高拉晶速率。