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单晶炉用伸展式热屏蔽器

基本信息

申请号 CN201210205680.1 申请日 -
公开（公告）号 CN102758258A 公开（公告）日 2012-10-31
申请公布号 CN102758258A 申请公布日 2012-10-31
分类号 C30B35/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I;C30B15/00(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 林游辉 申请（专利权）人 合肥景坤新能源有限公司
代理机构 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 代理人 方峥
地址 231600 安徽省合肥市肥东县新城开发区荷花路13号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种单晶炉用伸展式热屏蔽器，包括有围绕于硅单晶棒外热屏，热屏的上端连接有热屏上盖，热屏上盖的下方设有上保温筒，所述热屏是由热屏外壳、热屏内壳及中间的热屏保温层组成，热屏呈圆台状，且具有中央通道，热屏与热屏上盖之间的夹角为40-50°，中央通道的纵剖面为梯形，热屏外侧滑动配合有延伸热屏，延伸热屏外侧连接有推动气缸，推动气缸的缸体固定于热屏上盖上。在一定程度上增加了熔硅的纵向温度梯度，同时采用延伸热屏后，可以调节氩（氮）气流对固-液界面的吹拂高度，增强了氩（氮）气流携带结晶潜热的作用因此有利于单晶生长，并可以提高结晶速率，进而提高拉晶速率。