一种单晶硅加热防尘装置
基本信息
| 申请号 | CN201220327240.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN202658272U | 公开（公告）日 | 2013-01-09 |
| 申请公布号 | CN202658272U | 申请公布日 | 2013-01-09 |
| 分类号 | C30B29/06(2006.01)I;C30B35/00(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 林游辉 | 申请（专利权）人 | 合肥景坤新能源有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 230001 安徽省合肥市肥东县新城开发区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种单晶硅加热防尘装置，包括坩埚轴、托盘、法兰、磁流体、压板和多层保温板，所述坩埚轴顶部设有托盘，所述托盘下方设有法兰，所述法兰下方设有磁流体，包裹在坩埚轴外部，所述磁流体下方设有压板，所述压板下方设有多层保温板。该防尘装置的构思独特，结构简单，该装置的整体性结构，既方便快捷，有增强了其周密性，大大提高了生产效率，延长设备的使用寿命，避免了浪费。 |
