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单晶炉加热系统

基本信息

申请号 CN201210205336.2 申请日 -
公开（公告）号 CN102758254A 公开（公告）日 2012-10-31
申请公布号 CN102758254A 申请公布日 2012-10-31
分类号 C30B29/06(2006.01)I;C30B15/14(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 林游辉 申请（专利权）人 合肥景坤新能源有限公司
代理机构 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 代理人 合肥景坤新能源有限公司
地址 231600 安徽省合肥市肥东县新城开发区荷花路13号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种单晶炉加热系统，包括置于炉体内上加热器、下加热器，上加热器、下加热器分别正对于坩埚的上部、下部，上加热器、下加热器分别连接有电源系统，所述的上加热器、下加热器分别呈方波状，上加热器的下端与下加热器的上端之间具有间隙，且上加热器大于下加热器的竖向高度，所述的上加热器下端与下加热器上端的间隙中设有隔热板，隔热板伸向坩埚。采用了分段式组合加热器，双电源系统，化料时双加热器同时工作，大大缩短了熔硅时间，化料结束后降低下加热器功率，以上加热器为主加热器进行生长，使热场的底部温度下降且不影响晶体的生长，减小了传统热场顶部与底部的温差。