一种晶体制备快速退火炉

基本信息

申请号 CN202022200340.2 申请日 -
公开(公告)号 CN213570827U 公开(公告)日 2021-06-29
申请公布号 CN213570827U 申请公布日 2021-06-29
分类号 C30B33/02(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 王家武;杨定永;张顺祥;阿凤雄;罗应强 申请(专利权)人 云南全控机电有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 650000云南省昆明市中国(云南)自由贸易试验区昆明片区经开区阿拉街道办事处云大西路39号新兴产业孵化区A幢1楼103-105号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种晶体制备快速退火炉,所述炉身的顶部开设有环形保温槽,所述环形保温槽内壁上固定装配有外层保护砖,四组所述导热柱的顶端固定装配有内层保温碳化硅板,所述加热底板内均布有圆盘形缠绕加热炉管,且所述保温水管的外壁上套接装配有套环,且所述套环的侧壁上固定有固定装配在导热柱外壁上的安装块,所述限位板由内到外依次装配有缠绕装配在内层保温碳化硅板外壁外侧的第一圆柱形缠绕加热炉管、第二圆柱形缠绕加热炉管和第三圆柱形缠绕加热炉管,使得晶体各向性能在径向以及高度方向上的差异大幅度减小,防止温度消散太快而影响内应力差异过大化,提高晶体的退火效果。