一种半导体制备扩散炉
基本信息
| 申请号 | CN202022209260.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213266791U | 公开（公告）日 | 2021-05-25 |
| 申请公布号 | CN213266791U | 申请公布日 | 2021-05-25 |
| 分类号 | C30B31/06(2006.01)I;C30B31/16(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 王家武;杨定永;张顺祥;阿凤雄;罗应强 | 申请（专利权）人 | 云南全控机电有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 650000云南省昆明市中国(云南)自由贸易试验区昆明片区经开区阿拉街道办事处云大西路39号新兴产业孵化区A幢1楼103-105号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了半导体制备技术领域的一种半导体制备扩散炉，包括扩散炉主体，所述扩散炉主体左端设置有石英炉门，所述石英炉门内侧设置有保温桶，所述扩散炉主体内部固定设置有滑道，所述滑道上滑动装配有石英舟，所述石英舟的左边设置有挡板，所述挡板通过吊环挂设在扩散炉主体内壁顶端，所述石英舟上方设置有喷淋管，所述石英舟下方设置有排废管，所述排废管旁边设置有TC管，所述喷淋管和排废管均从扩散炉主体右端穿入，所述扩散炉主体右端中间固定设置有进气管，所述进气管内侧设置有匀流板。本实用性性通过以上设计优化，结构简单，密封效果好，喷淋管喷淋均匀，保温隔热效果好，提高了扩散均匀性，实用性强。 |
