一种半导体级硅单晶炉坩埚起吊装置及硅单晶炉
基本信息
| 申请号 | CN202011470690.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112575370A | 公开（公告）日 | 2021-03-30 |
| 申请公布号 | CN112575370A | 申请公布日 | 2021-03-30 |
| 分类号 | C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 姜宏伟;郭志强;郑锴 | 申请（专利权）人 | 南京晶能半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 张弛 |
| 地址 | 210046江苏省南京市经济技术开发区兴智路6号兴智科技园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种半导体级硅单晶炉坩埚起吊装置及硅单晶炉。该起吊装置通过向下延伸的第三连杆围绕于坩埚托盘四周，且通过挂钩承载坩埚托盘并提拉出。第三连杆的打开与闭合操作均通过位于支架上的第一、第二连杆及十字转盘带动，第一、第二连杆及十字转盘不占用炉内空间，且能够较准确的控制第三连杆开合的角度，避免触碰炉壁。该坩埚起吊装置对炉内空间的占用很少，专用于硅单晶炉内坩埚与炉壁间隙较小的环境中。 |
