一种适用于半导体级单晶硅长晶炉的加热器及组装方法
基本信息
| 申请号 | CN202010716219.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111763990B | 公开（公告）日 | 2022-02-18 |
| 申请公布号 | CN111763990B | 申请公布日 | 2022-02-18 |
| 分类号 | C30B35/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 穆童;张熠;秦英谡;郑锴 | 申请（专利权）人 | 南京晶能半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 张弛 |
| 地址 | 210046江苏省南京市经济技术开发区兴智路6号兴智科技园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种适用于半导体级单晶硅长晶炉的加热器，包括：石墨环、安装在石墨环上的若干石墨杆、安装在若干石墨杆上的石墨电极盘、安装在石墨电极盘上的两个石墨电极、石墨螺钉、若干石墨螺帽。本发明采用石墨杆和石墨环的连接方式代替了整块石墨的电极，大幅度节省了加热器的材料，可有效降低加热器成本。同时，石墨电极是从上方进入热场，避免了挥发物落在石墨电极处，有效避免了打火的发生。本发明同时提供了该加热器的组装方法。 |
