一种单晶炉用环形分水汇装置及单晶炉
基本信息
| 申请号 | CN202023151508.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214142607U | 公开（公告）日 | 2021-09-07 |
| 申请公布号 | CN214142607U | 申请公布日 | 2021-09-07 |
| 分类号 | C30B15/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 吴春生;姜宏伟;郭志强 | 申请（专利权）人 | 南京晶能半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 张弛 |
| 地址 | 210046江苏省南京市经济技术开发区兴智路6号兴智科技园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种单晶炉用环形分水汇装置，包括单晶炉盖、位于单晶炉盖上的若干视窗、与单晶炉盖内部连通的进水口及出水口；所述每个视窗上同样设有进水口及出水口；还包括一个圆弧形的进水汇及一个圆弧形的出水汇，将冷却液的进水管均汇总到进水汇，由进水汇的出水口统一给需要进冷却液的回路进水，同样的出水端汇总到出水汇，从而使冷却液在炉盖上的布线具有调理且主要集中于进水汇、出水汇中，进水汇、出水汇可以单独取下修整，便于冷却液回路的检修维护。 |
