一种水冷套对中组件及对中方法
基本信息
| 申请号 | CN202011473256.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112501685A | 公开（公告）日 | 2021-03-16 |
| 申请公布号 | CN112501685A | 申请公布日 | 2021-03-16 |
| 分类号 | C30B15/20(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 吴春生;罗汉昌;姜宏伟 | 申请（专利权）人 | 南京晶能半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 张弛 |
| 地址 | 210046江苏省南京市经济技术开发区兴智路6号兴智科技园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种水冷套对中组件，包括水冷屏、位于水冷屏外围的热场组件、相机支架；所述相机支架上设有云台相机；所述云台相机的摄像头面对水冷屏底部侧缘与热场组件之间的空隙；通过云台相机能够直接通过摄像方式检测水冷屏底部侧缘与热场组件之间的空隙，如某处空隙不符合预设值，则可以通过吊装调节固定装置微调水冷屏位置直至水冷屏底部侧缘与热场组件之间任一个角度的空隙均符合要求。从而能够提高最终成品中水冷屏的定位，提高生产的产品良率。 |
