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一种垂直电荷转移型光子解调器及其工作方法

基本信息

申请号	CN202011629474.4	申请日	-
公开（公告）号	CN112786635A	公开（公告）日	2021-05-11
申请公布号	CN112786635A	申请公布日	2021-05-11
分类号	H01L27/146	分类	基本电气元件;
发明人	马浩文;沈凡翔;王子豪;王凯;李张南;顾郅扬;胡心怡;柴智;陈辉;常峻淞;李龙飞	申请（专利权）人	南京威派视半导体技术有限公司
代理机构	南京苏创专利代理事务所（普通合伙）	代理人	张艳
地址	211100 江苏省南京市江宁区麒麟高新技术产业开发区天骄路100号9号楼801
法律状态	-

摘要

本发明涉及一种垂直电荷转移型光子解调器及其工作方法，半导体上表面设有调制解调部分，半导体下表面延伸至衬底底部构成感光部分；感光部分将光子转化为光生载流子，利用垂直电场将光生电子空穴对分开，其中电子或空穴垂直地输运至半导体表面进行光信号解调。两个电荷收集区都置为1.8V，调制开关一接1.2V，调制开关二接0V，衬底电极接地，半导体衬底上部产生横向电场，其它区域产生垂直电场；光子被半导体吸收并激发一个电子空穴对，并在电场作用下，电子空穴对被分开，电子向上运动至半导体表面；在横向电场作用下，进一步运动到电荷收集区附近，通过扩散进入其产生的耗尽区，形成光电流信号。本发明的光子解调器尺寸小，灵敏度及量子效率高。