一种晶圆制造显影预对准装置
基本信息
| 申请号 | CN202022303321.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213459687U | 公开（公告）日 | 2021-06-15 |
| 申请公布号 | CN213459687U | 申请公布日 | 2021-06-15 |
| 分类号 | H01L21/68（2006.01）I;G03F9/00（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 韦胜;盛育;卢凯 | 申请（专利权）人 | 百克晶半导体科技（苏州）有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 215000江苏省苏州市苏州工业园区跨塘分区金达路18号厂房北部一楼、二楼、三楼局部 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及半导体技术领域，尤其是一种晶圆制造显影预对准装置，包括转轴，所述转轴放置有晶圆片，所述转轴上端圆周等距离固定连接有多个限位杆，多个所述限位杆上均套设有限位套，所述限位套上固定连接有限位板，所述限位板与所述晶圆片相抵接，所述转轴上套设有第一连接套，所述第一连接套上圆周等距离铰接有多个铰接杆，所述铰接杆与所述限位套相铰接，所述第一连接套上固定连接有L形板，所述L形板上螺纹贯穿连接有紧固螺栓，所述紧固螺栓一端固定连接有抵接块。本实用新型具有便于对晶圆进行对准，防止在显影时出现偏移。 |
