一种晶圆片加工用粉尘收集装置
基本信息
| 申请号 | CN202022300090.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213885396U | 公开（公告）日 | 2021-08-06 |
| 申请公布号 | CN213885396U | 申请公布日 | 2021-08-06 |
| 分类号 | B01D46/10（2006.01）I;B01D46/00（2006.01）I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 卢凯;韦胜;盛育 | 申请（专利权）人 | 百克晶半导体科技（苏州）有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 215000江苏省苏州市苏州工业园区跨塘分区金达路18号厂房北部一楼、二楼、三楼局部 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及粉尘收集技术领域，尤其是一种晶圆片加工用粉尘收集装置，包括箱体,所述箱体底部四侧均安装有支柱，所述箱体底部一侧安装有出水口，所述箱体底部中间安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端安装有往复螺杆，所述往复螺杆伸入所述箱体内部，且所述往复螺杆位于所述箱体内部的一端安装有移动座，所述移动座与所述往复螺杆之间转动连接，所述移动座沿周向均匀安装有多个连杆，所述连杆另一端固定有安装框，所述安装框为矩形框，且所述箱体内壁与所述安装框之间相抵触，所述安装框四侧顶部均开有安装槽，所述安装槽内部安装有过滤机构，本实用新型结构简单，操作方便，方便完成对粉尘的收集。 |
