一种晶圆片切割用固定装置

基本信息

申请号 CN202022303304.9 申请日 -
公开(公告)号 CN214163580U 公开(公告)日 2021-09-10
申请公布号 CN214163580U 申请公布日 2021-09-10
分类号 B28D7/04(2006.01)I;B28D5/00(2006.01)I 分类 加工水泥、黏土或石料;
发明人 盛育;卢凯;韦胜 申请(专利权)人 百克晶半导体科技(苏州)有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 215000江苏省苏州市苏州工业园区跨塘分区金达路18号厂房北部一楼、二楼、三楼局部
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及晶圆片固定技术领域,尤其涉及一种晶圆片切割用固定装置,包括底座,所述底座上端面中部开设有方形槽,所述方形槽一端放置有方形块,所述方形块的上端面固定连接有环形柱,所述环形柱内放置有两个首尾相连的弧形套筒,且弧形杆插设在弧形套筒内,所述环形柱两侧放置有第一螺纹杆,且第一螺纹杆的一端转动连接在弧形套筒上。弧形套筒的底端固定连接有弧形杆,弧形杆可插设在弧形套筒内,当收外部挤压力时,弧形杆往弧形套筒内移动,使两个弧形套筒首尾之间的距离减小,达到减小由弧形套筒连接形成的圆的直径,环形柱两侧螺纹连接有第一螺纹杆,当转动第一螺纹杆时会使弧形套筒向内挤压,达到固定晶圆柱的效果。