一种晶圆片加工用存储装置

基本信息

申请号 CN202022295255.9 申请日 -
公开(公告)号 CN213620948U 公开(公告)日 2021-07-06
申请公布号 CN213620948U 申请公布日 2021-07-06
分类号 B65D25/02;B65D25/10;B65D85/86;B65D25/52;B65D81/05 分类 输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料;
发明人 卢凯;韦胜;盛育 申请(专利权)人 百克晶半导体科技(苏州)有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 215000 江苏省苏州市苏州工业园区跨塘分区金达路18号厂房北部一楼、二楼、三楼局部
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及晶圆片加工技术领域,尤其是一种晶圆片加工用存储装置,包括盒体,盒体上端一侧固定连接有上盖,上盖与盒体之间固定连接有紧固机构,盒体上端另一侧铰接有侧盖,盒体内侧壁远离侧盖的一侧固定连接有套管,套管一端设置有套杆,且套杆的一端插设在套管之中,套杆的另一端延伸至套管的外侧并固定连接有推送机构,套杆的外侧套设有第一弹簧,且第一弹簧的一端固定连接在套管上,第一弹簧的另一端固定连接在推送机构上,盒体的内部放置有多个晶圆片本体,且多个晶圆片本体位于推送机构的一侧。该晶圆片加工用存储装置能够方便地对晶圆片进行存储放置和取出,操作简单,使用方便。