一种氮气制备装置
基本信息
| 申请号 | CN202120898303.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215364917U | 公开（公告）日 | 2021-12-31 |
| 申请公布号 | CN215364917U | 申请公布日 | 2021-12-31 |
| 分类号 | C01B21/04（2006.01）I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 鞠德胜;于伟华;朱建中;万荣群 | 申请（专利权）人 | 无锡海飞凌半导体材料有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市精英专利事务所 | 代理人 | 李莹 |
| 地址 | 214000江苏省无锡市宜兴经济技术开发区杏里路10号宜兴光电产业园1幢201室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型实施例公开了一种氮气制备装置，涉及电子高纯辅助材料制备技术领域。氮气制备装置包括空气净化单元、变压吸附单元以及加碳脱氧单元，空气净化单元与变压吸附单元连接，变压吸附单元与加碳脱氧单元连接；变压吸附单元包括吸附塔，吸附塔内放置有吸附剂；加碳脱氧单元包括脱氧器，脱氧器内放置有碳催化剂。本实用新型实施例提出的氮气制备装置能够同时生产仪表风、低纯氮以及高纯氮等不同纯度的氮气，满足用户对不同纯度氮气的用气需求，同时，仪表风、低纯氮以及高纯氮之间的产量能够相互协调补充，使得氮气资源能够得到最大程度的利用。 |
