一种可调节阴极挡板
基本信息
| 申请号 | CN201820314327.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208121194U | 公开（公告）日 | 2018-11-20 |
| 申请公布号 | CN208121194U | 申请公布日 | 2018-11-20 |
| 分类号 | C23C14/35 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 杨宏斌;冷庆吉;齐丽婧;郭仙;柳丽丽;李忠祥 | 申请（专利权）人 | 河北物华天宝镀膜科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京挺立专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 河北物华天宝镀膜科技有限公司 |
| 地址 | 065599 河北省廊坊市固安县工业园区北区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及真空磁控溅射设备技术领域，一种可调节阴极挡板，包括：L型挡板、伸缩机构及固定螺栓，阴极挡板设有两块轴对称的L型挡板相对放置，两块L型挡板之间设有开口，L型挡板的长板底端设有可调节的伸缩机构，L型挡板与伸缩机构通过固定螺栓连接，通过调节两块L型挡板形成的开口大小，当挡板开口变小时，相应的成膜速率会减慢，当挡板开口变大时，相应的成膜速率会加快，因此，可以达到调节磁控溅射阴极成膜速率从而优化大面积镀膜玻璃横向均匀性。 |
