面向半导体晶圆传送机械臂的自适应轨迹优化方法及系统
基本信息
| 申请号 | CN202111634922.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114211495A | 公开（公告）日 | 2022-03-22 |
| 申请公布号 | CN114211495A | 申请公布日 | 2022-03-22 |
| 分类号 | B25J9/16（2006.01）I | 分类 | 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手; |
| 发明人 | 王彭;林坚;马群 | 申请（专利权）人 | 泓浒（苏州）半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州企知鹰知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王玉珍 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市相城区元和万里路88号4号楼1楼104室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种面向半导体晶圆传送机械臂的自适应轨迹优化方法及系统，其中，轨迹优化方法包括：基于建立的机械臂笛卡尔空间轨迹的描述函数构建曲率半径变化模型；确定拟合曲率半径与速度的变化关系的运动函数以根据所述曲率半径变化模型构建机械臂在任意位置的速度变化模型；根据笛卡尔空间与关节空间的映射关系获得关节空间内的速度函数；将根据所述速度变化模型计算得到的速度值依据所述速度函数获得关节空间内的速度约束；在所述速度约束中加入奇异点位置以限制机械臂在奇异点附近的最大速度。通过建立曲率半径变化模型和速度变化模型，实现了在笛卡尔空间中轨迹速度的自适应加速和降速，提高了在轨迹拐点的运行稳定性和精度。 |
