半导体晶圆传送机器臂内器件疲劳的监测方法及其组件
基本信息
| 申请号 | CN202210310870.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114689316A | 公开（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申请公布号 | CN114689316A | 申请公布日 | 2022-07-01 |
| 分类号 | G01M13/023（2019.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 王彭;林坚 | 申请（专利权）人 | 泓浒（苏州）半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京同辉知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 215000江苏省苏州市相城区元和万里路88号4号楼1楼104室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种半导体晶圆传送机器臂内器件寿命的监控方法及其组件，包括带有内齿的传动带，所述传动带的外侧设置有自动张紧轮，其与传动带相碰触设置，所述自动张紧轮的同轴上设置有距离传感器，所述距离传感器与终端设备相电联；所述传动带的内圈中设置有移动滑轨，所述移动滑轨上通过滑块设置有触碰杆，所述触碰杆与自动张紧轮在同一轴线设置，所述触碰杆与感应器相连，所述感应器与终端设备相连，在自动张紧轮位移后，触碰杆移动的距离与自动张紧轮移动的距离相等。本发明能提高工作效率。 |
