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面向半导体晶圆传送机械臂的高速运动控制方法和系统

基本信息

申请号 CN202111654255.6 申请日 -
公开（公告）号 CN114211497A 公开（公告）日 2022-03-22
申请公布号 CN114211497A 申请公布日 2022-03-22
分类号 B25J9/16（2006.01）I 分类 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手;
发明人 王彭;林坚;李青锋 申请（专利权）人 泓浒（苏州）半导体科技有限公司
代理机构 苏州企知鹰知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 王玉珍
地址 215000江苏省苏州市相城区元和万里路88号4号楼1楼104室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及机器人控制领域，具体涉及面向半导体晶圆传送机械臂的高速运动控制方法和系统。该方法为根据晶圆搬运机械臂控制的动作指令进行运动路径的分段，并针对每段运动路径，建立基于多项式的规划模型；采集晶圆搬运机器臂的末端抖动数据，并根据规划模型获得机器臂完成路径运动的变化数据，基于抖动数据和变化数据建立有约束条件的机械臂参数优化方程；通过梯度下降的迭代求解方法对优化方案进行迭反复迭代求解，并保存动作指令加载模型参数；在模型加载应用过程中，根据动作指令加载模型参数和多项式的规划模型，生成机械臂连续运动点位，下发给机械臂轴关节进行运行，降低了机械臂抖动及机械臂动作指令运行时间。