一种卷对卷石墨烯薄膜生长设备以及卷对卷石墨烯薄膜生长方法
基本信息
| 申请号 | CN201911395209.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110983302A | 公开（公告）日 | 2020-04-10 |
| 申请公布号 | CN110983302A | 申请公布日 | 2020-04-10 |
| 分类号 | C23C16/54;C23C16/26 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 白晓航;汪伟;刘兆平 | 申请（专利权）人 | 宁波柔碳电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 宁波柔碳电子科技有限公司 |
| 地址 | 315201 浙江省宁波市镇海区庄市街道中官西路1818号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种卷对卷石墨烯薄膜生长设备，包括：真空腔室、真空泵以及设置于所述真空腔室和真空泵之间的阀门；所述真空腔室内包括：设置于真空腔室底部的镓池，镓池内部承载有液态镓；用于向镓池内通气的进气管；由依次设置的放卷辊、转向辊和收卷辊组成的传动设备；塑料薄膜安装在放卷辊，经转向辊后，卷绕于收卷辊上；其中转向辊浸渍于液态镓中。本发明上述装置利用液态镓分解甲烷，塑料薄膜在镓中传动，直接在塑料薄膜表面生长石墨烯薄膜。本发明可以直接在塑料基底上生长石墨烯薄膜，方法简单，成本低。 |
