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一种碱清洗干法制绒工艺

基本信息

申请号 CN201810207602.2 申请日 -
公开（公告）号 CN108493270A 公开（公告）日 2018-09-04
申请公布号 CN108493270A 申请公布日 2018-09-04
分类号 H01L31/0236;H01L31/028 分类 基本电气元件;
发明人 韩培勇;黄丽君;刘金浩;上官泉元;李妙 申请（专利权）人 江西比太科技有限公司
代理机构 北京集智东方知识产权代理有限公司 代理人 江西比太科技有限公司
地址 330096 江西省南昌市高新区京东大道1189号欧洲工业园
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种碱清洗干法制绒工艺，包括：1）硅片预清洗阶段依次为使用KOH/H2O2的混合溶液、去离子水、KOH溶液、去离子水、HF/HCL的混合溶液、去离子水清洗硅片后脱水、烘干；2）干法制绒阶段：烘干后的硅片再经过RIE干法制绒后，得到黑硅；3）黑硅清洗阶段依次为使用HF去除硅片表面的反应副产物，再依次使用去离子水、KOH溶液、去离子水、HF/HCL的混合溶液、去离子水清洗硅片后脱水烘干得到黑硅成品。本发明由于避免了使用含有N元素的HNO3及BOE而极大降低了污水处理难度及排废量；RIE后使用碱清洗的微观尖端组织减少，可带来一定程度的提效，工艺时间可大大减少并大大提高产能。