集合式干法制绒装置及生产线
基本信息
| 申请号 | CN201710204649.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106876527B | 公开（公告）日 | 2019-07-19 |
| 申请公布号 | CN106876527B | 申请公布日 | 2019-07-19 |
| 分类号 | H01L31/18;H01L31/0236;H01L21/67 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 上官泉元;谭兴波;杨虎;李妙 | 申请（专利权）人 | 江西比太科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京超凡志成知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 江西比太科技有限公司 |
| 地址 | 330000 江西省南昌市高新技术产业开发区京东大道1189号高新欧洲工业园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种集合式干法制绒装置，包括前清洗机构、后清洗机构、自动化上下料机构和RIE干法制绒机；前清洗机构与自动化上下料机构的进料端连接；后清洗机构与自动化上下料机构的出料端连接；RIE干法制绒机与自动化上下料机构连接。本发明将前清洗，干法制绒，后清洗整合到一台设备上，中间用自动化硅片上下料和传输，实现自动化，降低生产成本。在此基础上，本发明还提供了一种采用该集合式干法制绒装置的生产线。 |
