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一种气体闭环流量稳定控制系统

基本信息

申请号 CN202122719874.0 申请日 -
公开（公告）号 CN216387864U 公开（公告）日 2022-04-26
申请公布号 CN216387864U 申请公布日 2022-04-26
分类号 G05D7/06（2006.01）I 分类 控制；调节;
发明人 徐军;张鹏 申请（专利权）人 天津创盾智能科技有限公司
代理机构 北京沁优知识产权代理有限公司 代理人 郭衍飞
地址 300000天津市西青区精武镇学府西路1号东区D11号厂房A座101
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及流量控制系统电路技术领域，公开了一种气体闭环流量稳定控制系统，包括控制器以及与控制器连接的采集模块和动作模块，所述采集模块包括温湿度采集电路、压力采集电路和流量传感器，所述动作模块包括驱动电路以及与驱动电路连接的气泵，通过所述气泵控制气流大小，所述流量传感器通过过滤器采集气体的流量，所述流量传感器与控制器之间还连接有信号处理单元；该系统实现对设备内气体流量的闭环控制，通过实时采集反馈数据以及实时控制，保证了设备内气体流量的稳定，提高了气体流量稳定性，使得设备在在不同温度，不通海拔高度下，工作流量都能够稳定。