一种电光调制系统和由其构成的电光开关或光衰减器
基本信息
| 申请号 | CN201210327659.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102967951A | 公开（公告）日 | 2013-03-13 |
| 申请公布号 | CN102967951A | 申请公布日 | 2013-03-13 |
| 分类号 | G02F1/015(2006.01)I;H01L33/00(2010.01)I;H01L33/20(2010.01)I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 李冰 | 申请（专利权）人 | 上海硅通半导体技术有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 200433 上海市杨浦区国定路335号2号楼1611室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种电光调制系统和由其构成的电光开关或光衰减器，所述电光调制系统包括电光PIN二极管波导和一对模式变换器，所述电光PIN二极管波导由脊波导构成，其平板区的两侧分别为高浓度掺杂的P型掺杂区和N型掺杂区。所述脊波导的平板区高度小于所述脊波导脊高度的一半。所述脊波导的脊宽与所述脊波导的总高度相近，波导传导的主模的主要能量限制在芯区。所述电光开关或光衰减器，从输入到输出依次包括一个输入Y分支耦合器、一对输入模式变换器、一段由两支并行的电光PIN二极管波导构成的有源波导区、一对输出模式变换器、和一个输出Y分支耦合器。本发明结构能提高载流子注入效率，降低器件总功耗，且具有高消光比。 |
