一种热光型相位调制结构

基本信息

申请号 CN201810100489.8 申请日 -
公开(公告)号 CN110109267A 公开(公告)日 2019-08-09
申请公布号 CN110109267A 申请公布日 2019-08-09
分类号 G02F1/025;G02F1/01 分类 光学;
发明人 李冰;李营营 申请(专利权)人 上海硅通半导体技术有限公司
代理机构 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 上海硅通半导体技术有限公司
地址 200438 上海市杨浦区国定路335号2号楼1011-4室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明的实施例公开了一种热光型相位调制结构,包括:波导;设置在所述波导周围的包层;设置在所述包层与所述波导相邻一侧的相对侧的第一接触掺杂区和第二接触掺杂区;设置在第一接触掺杂区上方且与第一接触掺杂区形成电连接的第一电极;以及设置在第二接触掺杂区上方且与第二接触掺杂区形成电连接的第二电极。