一种半导体芯片的封装结构
基本信息
申请号 | CN201610301601.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN106910725A | 公开(公告)日 | 2017-06-30 |
申请公布号 | CN106910725A | 申请公布日 | 2017-06-30 |
分类号 | H01L23/373 | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 裴风丽 | 申请(专利权)人 | 昆山工研院第三代半导体研究院有限公司 |
代理机构 | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 苏州能讯高能半导体有限公司;昆山工研院第三代半导体研究院有限公司 |
地址 | 215300 江苏省苏州市昆山市高新区晨丰路18号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明涉及微电子技术领域,提供了一种半导体芯片的封装结构,其包括:金属载体层、第一热扩散层、导热粘附层以及半导体芯片。第一热扩散层位于金属载体层上;导热粘附层位于热扩散层上;半导体芯片位于导热粘附层上;第一热扩散层至少包括石墨烯层。本发明的半导体芯片的封装结构,由于第一热扩散层含有石墨烯层,而石墨烯层的热传导具有异向性,增大了热交换的面积,解决了由于芯片热源导致的导热粘附层散热不均匀的问题,减小了芯片与金属载体层间的热阻,提高了芯片的热导出效能。 |
