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防撞突上机构

基本信息

申请号 CN202121779529.X 申请日 -
公开（公告）号 CN215451350U 公开（公告）日 2022-01-07
申请公布号 CN215451350U 申请公布日 2022-01-07
分类号 H01L21/67（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 刘明坤;梁吉来;姜博;王云峰 申请（专利权）人 大连佳峰自动化股份有限公司
代理机构 大连优路智权专利代理事务所（普通合伙） 代理人 宋春昕
地址 116000辽宁省大连市经济技术开发区福泉北路27号-5号1-4层
法律状态 -

摘要

摘要 防撞突上机构，磁吸底座上表面和顶针帽磁吸座的下表面对应安装磁吸座磁铁，磁吸底座和顶针帽磁吸座之间通过磁吸座磁铁吸合连接；磁吸底座和顶针帽磁吸座中心设有通孔，贯穿磁吸底座和顶针帽磁吸座中心的通孔设有下推杆和上推杆，下推杆的上端和上推杆的下端分别设有推杆磁铁，下推杆和上推杆之间通过推杆磁铁吸合连接；上推杆上端安装顶针座，顶针座上安装顶针；下推杆下端连接电机。本实用新型的防撞突上机构，安装座与顶针帽基座之间通过磁吸安装，可快速便捷地更换顶针和顶针帽，减少了安装之后的调整工序，大幅度提高了工作效率。在调试或工作过程中，当顶针帽与wafer平台发生碰撞时，顶针帽基座会与磁吸底座脱离，降低设备损坏风险。