转角平台机构
基本信息
| 申请号 | CN202111001004.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113764311A | 公开（公告）日 | 2021-12-07 |
| 申请公布号 | CN113764311A | 申请公布日 | 2021-12-07 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 刘明坤;梁吉来;姜博;王云峰 | 申请（专利权）人 | 大连佳峰自动化股份有限公司 |
| 代理机构 | 大连优路智权专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 宋春昕 |
| 地址 | 116000辽宁省大连市经济技术开发区福泉北路27号-5号1-4层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 转角平台机构，基板上安装支撑环，支撑环孔内通过卡架上下排布安装销栓和顶出轴，卡架中部与支撑环内壁之间设有弹簧；基板上位于支撑环的外侧安装大齿轮，销栓位置与大齿轮内缘的轮齿位置匹配；基板上位于大齿轮外侧安装切换气缸，切换气缸的活塞杆连接插轴，插轴与顶出轴位置相对应；大齿轮外缘安装同步带，同步带连接驱动电机；支撑环上通过升降螺母安装升降驱动齿轮，升降螺母内部螺纹连接螺杆，压板安装于螺杆上部，升降驱动齿轮与大齿轮啮合安装。本发明将平台机构的晶圆扩膜和转角结构进行融合，仅使用一套电机同步带驱动系统即可实现晶圆扩膜与转角的功能，降低了设备生产成本，同时缩小了平台机构所占空间，使设备结构更加紧凑。 |
