一种亚微米级运动平台及其运动控制方法
基本信息
| 申请号 | CN202010807753.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112104187A | 公开（公告）日 | 2020-12-18 |
| 申请公布号 | CN112104187A | 申请公布日 | 2020-12-18 |
| 分类号 | H02K41/02;H02K11/33;H02K11/22;H02P25/06 | 分类 | 发电、变电或配电; |
| 发明人 | 周建红 | 申请（专利权）人 | 深圳市圭华智能科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市徽正知识产权代理有限公司 | 代理人 | 深圳市圭华智能科技有限公司 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市龙华区龙华街道华联社区河背工业区颖宝厂101A栋1楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及电机驱动技术领域，尤其指一种亚微米级运动平台及其运动控制方法，包括直线电机、气浮导轨、滑块、光栅尺、花岗岩底板、X向底板、Y向底板、Z向支架和驱动控制器；所述直线电机包括X向直线电机、Y向直线电机和Z向直线电机；所述气浮导轨包括X向气浮导轨、Y向气浮导轨和Z向气浮导轨。本发明采用直线电机、气浮导轨和滑块的结构设计，极大的提高了运动平台的稳定性性和运动控制精度；将X向底板、Y向底板分别设置在X向气浮导轨和Y向气浮导轨之间，进一步提高了X向底板和Y向底板的运动稳定性；X向直线电机、Y向直线电机和Z向直线电机的设计，保障了在X、Y、Z三个维度的精密运动控制。 |
