一种连续镀膜工艺室
基本信息
| 申请号 | CN201821081044.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208430226U | 公开（公告）日 | 2019-01-25 |
| 申请公布号 | CN208430226U | 申请公布日 | 2019-01-25 |
| 分类号 | C23C14/56;C23C14/08;C23C14/18;C23C14/06;C23C14/34 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 于春锋 | 申请（专利权）人 | 山东三齐能源有限公司 |
| 代理机构 | 济南舜昊专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 山东三齐能源有限公司 |
| 地址 | 250200 山东省济南市章丘市明水经济开发区圣福路2877号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及镀膜设备领域，具体涉及连续镀膜工艺室，包括依次连接的第一氧化物镀膜腔、金属镀膜腔、氮化物镀膜腔、氮化物和氧化物的混合物镀膜腔、第二氧化物镀膜腔、第三氧化物镀膜腔。本实用新型所述的连续镀膜工艺室，可实现在材料表面连续镀6层不同的膜，可满足多层镀膜需求。 |
