一种用于选择性吸收太阳光谱的膜层的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202010429299.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111424237A | 公开（公告）日 | 2020-07-17 |
| 申请公布号 | CN111424237A | 申请公布日 | 2020-07-17 |
| 分类号 | C23C14/06;C23C14/08;C23C14/10;C23C14/16;C23C14/34;C23C28/00;F24S70/225 | 分类 | - |
| 发明人 | 于春锋;李方军;张谦 | 申请（专利权）人 | 山东三齐能源有限公司 |
| 代理机构 | 济南诚智商标专利事务所有限公司 | 代理人 | 山东三齐能源有限公司 |
| 地址 | 250220 山东省济南市章丘区明水经济开发区圣福路2877号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供了一种用于选择性吸收太阳光谱的膜层的制备方法，膜层包括6层，从下到上依次为氧化铬材质的强化膜、铜材质的低发射率膜、氮化铬材质的缓冲膜、氮氧化铬、氮化铬以及氧化铬的混合物材质的过渡膜、氧化铬材质的吸收膜、二氧化硅材质的抗反射膜，其中强化膜、缓冲膜、过渡膜、吸收膜以及抗反射膜均为通过反应性溅镀制备得到，低发射率膜为通过直流溅镀制备得到；经检测，本申请制备的膜层的吸收率为93％～97％，比现有技术提高了3％～9％；本申请制备的膜层的发射率为3％～5％，比现有技术降低了3％～12％；附着力为1级；采用本申请制备的膜层的太阳能集热器的热效率可达80.4％，比现有技术提高了6％～8.4％。 |
