一种用于平板太阳能集热器上吸热体的镀膜装置
基本信息
| 申请号 | CN202021817931.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212834003U | 公开（公告）日 | 2021-03-30 |
| 申请公布号 | CN212834003U | 申请公布日 | 2021-03-30 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I;F24S70/00(2018.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 于春锋;李方军;张谦;谢汝谦 | 申请（专利权）人 | 山东三齐能源有限公司 |
| 代理机构 | 济南诚智商标专利事务所有限公司 | 代理人 | 杨先凯 |
| 地址 | 250220山东省济南市章丘区明水经济开发区圣福路2877号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于平板太阳能集热器上吸热体的镀膜装置，包括两个升降装置和磁控溅射装置，所述两个升降装置对称安装在镀膜设备的两端，在磁控溅射装置的底部安装有支撑脚座，在磁控溅射装置的上还安装有传动机构，所述传动机构上安装有载盘，所述磁控溅射装置包括多个真空腔体和多个镀膜腔体，多个真空腔体均匀安装在多个镀膜腔体的两端。本实用新型该装置实现了在平板太阳能集热器吸热体上使用PVD磁控溅射镀膜技术的目的，不仅更加的环保，而且只需一次便可完成吸热体镀膜，节约了镀膜时间，提高了镀膜效率；载盘的设置能够对具有不同位置介质口的吸热板进行稳定输送，大大提高了该装置的实用性，提高了镀膜的效率。 |
