一种用于磁控溅射设备回流传输的调整装置
基本信息
| 申请号 | CN202022444856.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213570712U | 公开（公告）日 | 2021-06-29 |
| 申请公布号 | CN213570712U | 申请公布日 | 2021-06-29 |
| 分类号 | C23C14/35（2006.01）I;C23C14/56（2006.01）I;C23C14/54（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 于春锋;李方军;张谦 | 申请（专利权）人 | 山东三齐能源有限公司 |
| 代理机构 | 济南诚智商标专利事务所有限公司 | 代理人 | 马祥明 |
| 地址 | 250220山东省济南市章丘区明水经济开发区圣福路2877号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于磁控溅射设备回流传输的调整装置，包括传输装置、传输装置支撑架、载盘导轨和传输固定座，其中传输固定座包括传输固定块、传输调整块、螺杆和传输脚座，所述传输固定块固定在传输装置支撑架的四个角上，传输调整块安装在传输固定块上，传输脚座固定在传输调整块上面通过螺丝锁紧，螺杆垂直固定在传输调整块上；传输装置通过传输固定座安装在传输装置支撑架上；所述载盘导轨按照载盘在传输装置上所处的位置，对称固定在传输装置支撑架上。本实用新型可解决载盘在传输过程中脱轨问题，解决了因脱轨问题导致的对产能的影响，便于维修，大大降低维修成本。 |
