一种以磁控溅射金属玻璃及其氮化物复合镀层用于非不粘粘加工刀具的应用
基本信息
| 申请号 | CN201910921160.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110699651A | 公开（公告）日 | 2020-01-17 |
| 申请公布号 | CN110699651A | 申请公布日 | 2020-01-17 |
| 分类号 | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/14 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 曾浩恩;谭天明 | 申请（专利权）人 | 宁波丽成真空科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 315000 浙江省宁波市北仑区新碶街道算山炼化油港路58号-1 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种以磁控溅射金属玻璃及其氮化物复合镀层用于非不粘粘加工刀具的应用，制程可分为以下几个步骤：1）工件脱脂清洁；2）固定与镀件夹具；3）抽真空；4）偏压等离子体清洁；5）TFMG结合层；6）TFMG‑N；7）TFMG/TFMG‑N复合层，利用磁控溅射制作金属玻璃/金属玻璃氮化物多层复合结构，对于非金属类基板加工可以减少粘粘的问题，可以应用在目前广泛的高分子基材，复合高分子基材，碳纤维基材，PCB板材的加工，本发明设计合理，可大规模推广。 |
