一种具有倾斜式闭合门的镀膜箱

基本信息

申请号 CN201610876671.3 申请日 -
公开(公告)号 CN106399927A 公开(公告)日 2017-02-15
申请公布号 CN106399927A 申请公布日 2017-02-15
分类号 C23C14/00(2006.01)I;C03C17/00(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 李风浪;李舒歆 申请(专利权)人 宁波丽成真空科技有限公司
代理机构 北京众合诚成知识产权代理有限公司 代理人 连平
地址 523000 广东省东莞市松山湖高新技术产业工发区生产力大厦406
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种具有倾斜式闭合门的镀膜箱,包括镀膜箱本体、右闭合门装置、联动装置和左闭合门;右闭合门装置包括摆臂、右闭合门和旋转机构;镀膜箱本体为开设有左右贯穿的镀膜空间的长方体;镀膜箱本体的前端面下部固定有一对左右对称的右中心柱和左中心柱;右闭合门通过成型于左下方的右旋转中心孔插套在右中心柱上;左闭合门通过成型与右下方的左旋转中心孔插套在左中心柱上;右闭合门和左闭合门之间设置有联动装置。本发明的右闭合门装置驱动右闭合门的同时带动通过联动装置控制左闭合门同步作动;右闭合门装置能驱使左右闭合门前后滑行,有利于镀膜空间的密闭性。