一种真空镀膜制作氧氮高铝钛薄膜用于微钻孔刀具的应用
基本信息
| 申请号 | CN201910921052.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110541145A | 公开（公告）日 | 2019-12-06 |
| 申请公布号 | CN110541145A | 申请公布日 | 2019-12-06 |
| 分类号 | C23C14/14（2006.01）; C23C14/06（2006.01）; C23C14/32（2006.01） | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 曾浩恩; 谭天明 | 申请（专利权）人 | 宁波丽成真空科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 315000 浙江省宁波市北仑区新碶街道算山炼化油港路58号-1 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种真空镀膜制作氧氮高铝钛薄膜用于微钻孔刀具的应用，制程可分为以下几个步骤：1）工件脱脂清洁；2）固定与镀件夹具；3）抽真空；4）偏压等离子体清洁；5）离子源等离子体清洁；6）TiAl；7）TiAlN提供高硬度基地；8）TiAlON层，提供润滑性薄膜,使用复合式磁控溅射制作高硬度及低摩擦系数的微钻，使用TiAlON，可以使用较易取得的设备，本发明设计合理，可大规模推广。 |
