一种环保型直接在易氧化金属镀膜的工艺
基本信息
| 申请号 | CN201910921053.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110565061A | 公开（公告）日 | 2019-12-13 |
| 申请公布号 | CN110565061A | 申请公布日 | 2019-12-13 |
| 分类号 | C23C14/35（2006.01）; C23C14/02（2006.01）; C23C14/16（2006.01）; C23C14/32（2006.01） | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 曾浩恩; 谭天明 | 申请（专利权）人 | 宁波丽成真空科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 315000 浙江省宁波市北仑区新碶街道算山炼化油港路58号-1 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种环保型直接在易氧化金属镀膜的工艺，分为以下几个步骤：1）工件脱脂清洁；2）固定与镀件夹具；3）抽真空；4）偏压等离子体清洁；5）离子源等离子清洁；6）TFMG植入层；7）TFMG保护层；8）装饰性或功能性目标涂层；通过金属玻璃具有致密、疏水性佳，耐蚀性佳的特性，可以作为保护基材的保护涂层。 |
