一种膜厚测量系统
基本信息
| 申请号 | CN201611099558.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108151661A | 公开（公告）日 | 2018-06-12 |
| 申请公布号 | CN108151661A | 申请公布日 | 2018-06-12 |
| 分类号 | G01B11/06 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 刘玉;陈喆;李承东;操金明;潘占福;刘冬;程小辉;赵晨思 | 申请（专利权）人 | 上海ＡＢＢ工程有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 魏金霞;王艳江 |
| 地址 | 201319 上海浦东新区康新公路4528号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种膜厚测量系统，包括：测量头，适于测量待测工件上测量点的膜厚，以得到与所述膜厚关联的测量信号；机械臂，所述测量头固定于所述机械臂上；机器人控制部件，与所述测量头和机械臂耦接，适于对所述测量信号进行数据采集，并根据数据采集结果控制所述机械臂的运动；上位机，与所述机器人控制部件耦接。本发明方案膜厚测量系统膜厚测量时间短，系统响应速度快，系统成本低，且利于维护。 |
