一种高纯四氟化硅的合成及纯化方法
基本信息
| 申请号 | CN201910536842.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110606490A | 公开（公告）日 | 2019-12-24 |
| 申请公布号 | CN110606490A | 申请公布日 | 2019-12-24 |
| 分类号 | C01B33/107 | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 马建修;王新鹏;杜文东;张杰;崔录芳 | 申请（专利权）人 | 天津绿菱气体有限公司 |
| 代理机构 | 太原晋科知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 绿菱电子材料（天津）有限公司;天津绿菱气体有限公司 |
| 地址 | 301714 天津市武清区河西务镇三纬路南侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提出一种高纯四氟化硅的合成及纯化方法。一种高纯四氟化硅的合成及纯化方法，包括以下步骤：氟硅酸盐的预处理；氟硅酸盐经裂解反应制备四氟化硅粗料；在第一吸附工段脱除痕量水分及酸性气体；在第二吸附工段对氟硅醚进行脱除与阻聚控制；在精馏工段对轻组分和重组分进行分离；通过复杂精馏工段对恒沸物杂质进行分离。本发明提出的高纯四氟化硅的合成及纯化方法，其将加热裂解、吸附单元操作、精馏和复杂精馏科学组合，通过采用吸附单元脱除氟硅醚，通过常规精馏单元操作后增加复杂精馏工艺去除恒沸物。 |
