一种气体传感器及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201810530855.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109030563A | 公开（公告）日 | 2021-07-02 |
| 申请公布号 | CN109030563A | 申请公布日 | 2021-07-02 |
| 分类号 | G01N27/00 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 徐红艳;孙旭辉;吴庆乐;顾元斌;张永超 | 申请（专利权）人 | 苏州慧闻纳米科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京智汇东方知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 薛峰;康正德 |
| 地址 | 215123 江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区9幢505室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种气体传感器及其制备方法。该气体传感器是由传感器芯片和帽结构组成，帽结构的表面具有多个通孔，帽结构直接盖合在传感器芯片上，且帽结构的表面与传感器芯片之间具有预设间距，以避免表面与传感器芯片接触，传感器芯片包括：基底；感测电极，其设置在基底的正面，且在感测电极的表面上施加有敏感材料，用于检测外部空气的湿度、温度和/或外部空气中待测气体的浓度；信号输入端和信号输出端，其均与感测电极电连接，且均设置在基底的反面。该气体传感器不需要额外的封装底座，仅将传感器芯片作为封装的一部分，即将传感器芯片的反面作为封装的背面，一方面节约了成本，另一方面极大地减小了传感器的体积与质量。 |
