一种大面积薄膜压力传感器
基本信息
| 申请号 | CN202110759789.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113405700A | 公开（公告）日 | 2021-09-17 |
| 申请公布号 | CN113405700A | 申请公布日 | 2021-09-17 |
| 分类号 | G01L1/18（2006.01）I;G01L9/08（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 雷浩;冯长海;张平平 | 申请（专利权）人 | 苏州慧闻纳米科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州高优盛知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 白莉莉 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区9幢505室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种大面积薄膜压力传感器。该大面积薄膜压力传感器包括：上封装层和下封装层；电极层，设置于所述下封装层上，且所述电极层与外部电源连接；纳米敏感层，以薄膜状形态形成于所述上封装层上；柔性支撑层，设置在所述纳米敏感层和所述电极层之间，且构造成在所述大面积薄膜压力传感器受到外界压力时允许所述纳米敏感层和所述电极层的接触，在所述外界压力撤销时使得所述纳米敏感层和所述电极层完全分离。本发明的大面积薄膜压力传感器极大提高了薄膜压力传感器输出性能的一致性以及稳定性。 |
