在柔性基材上镀氧化物光学膜的方法和光学复合部件
基本信息
| 申请号 | CN202111302460.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114214595A | 公开（公告）日 | 2022-03-22 |
| 申请公布号 | CN114214595A | 申请公布日 | 2022-03-22 |
| 分类号 | C23C14/35（2006.01）I;C23C14/06（2006.01）I;C23C14/08（2006.01）I;C23C14/10（2006.01）I;C23C14/20（2006.01）I;C23C14/58（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 杨鹏;张俊峰 | 申请（专利权）人 | 万津实业（赤壁）有限公司 |
| 代理机构 | 华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人 | 黎金娣 |
| 地址 | 437300湖北省咸宁市赤壁市中伙光谷产业园纵5路 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种在柔性基材上镀氧化物光学膜的方法和光学复合部件。该方法包括：S1通过磁控溅射的方式，在柔性基材上沉积碳膜，碳膜包含间隔分布的碳颗粒；S2通过磁控溅射的方式，在碳膜上沉积单质膜；S3对碳膜和单质膜进行氧化，分别得到碳氧化物气体和固体氧化物；S4去除碳氧化物气体，制得具有多孔结构的氧化物光学膜。本发明巧妙地在制备方法中引入过程物碳，引入孔洞，使最终制得的氧化物膜层具有疏松的多孔结构，不易脱膜，该方法产能大，效率高。 |
