一种提高石墨烯质量的沉积设备及方法
基本信息
| 申请号 | CN201910216035.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109763113A | 公开（公告）日 | 2019-05-17 |
| 申请公布号 | CN109763113A | 申请公布日 | 2019-05-17 |
| 分类号 | C23C16/26（2006.01）I; C23C16/46（2006.01）I; C23C16/455（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 董国材; 刘玉菲; 张金龙 | 申请（专利权）人 | 常州碳维纳米科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 213000 江苏省常州市江苏武进经济开发区腾龙路2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种提高石墨烯质量的沉积设备及方法，通过新设计的基底加热装置及布气盒，基底加热装置通过边缘补偿设计有效提高了温度的均匀性及目标温度控制的准确性，通过设置在布气盒底部的排气孔，将气体均匀分布到所述反应区中，进而均匀分布在立于所述反应区内的基片表面，提高所述基片表面沉积的薄膜的均匀性。与现有技术相比，本发明结构简单、成本低、易于实现。 |
