一种用于制备石墨烯薄膜的沉积装置及方法
基本信息
| 申请号 | CN201910231627.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109750272A | 公开（公告）日 | 2019-05-14 |
| 申请公布号 | CN109750272A | 申请公布日 | 2019-05-14 |
| 分类号 | C23C16/26（2006.01）I; C23C16/455（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 董国材; 刘玉菲; 张金龙 | 申请（专利权）人 | 常州碳维纳米科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 213000 江苏省常州市江苏武进经济开发区腾龙路2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种用于制备石墨烯薄膜的沉积装置及方法，所述装置包括主腔室、进样室、加热装置、传样杆、供气装置、样品托、插板阀及抽气装置。其中主腔室用于薄膜材料的制备，进样室用于制备衬底的准备。本发明采用不锈钢腔壁，使用分子泵+机械泵的抽气装置，本底真空可达到10‑8mbar，充分减少杂质气体分子对生长过程造成的影响。采用的内加热方式，不仅能降低能耗，提高恒温区均匀性，具备移动降温功能，可实现快速降温，有效减少降温过程中碳原子的析出，可以高效、节能的制备石墨烯。 |
