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一种石墨烯图形化制备方法

基本信息

申请号 CN201910197039.X 申请日 -
公开（公告）号 CN110047733A 公开（公告）日 2019-07-23
申请公布号 CN110047733A 申请公布日 2019-07-23
分类号 H01L21/02 分类 基本电气元件;
发明人 董国材;刘玉菲;张金龙 申请（专利权）人 常州碳维纳米科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 213000 江苏省常州市江苏武进经济开发区腾龙路2号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种石墨烯图形化制备方法，该方法包括以下步骤：制备图形化的掩膜；将制备好的图形化的掩膜转移到衬底上；石墨烯的生长；去除掩膜，完成石墨烯图形化加工。本发明能够提高石墨烯图形化的加工精度，使工艺过程和加工操作简单化，降低成本。