一体化微柱阵列金属模具的制作方法及其金属模具
基本信息
| 申请号 | CN202110634098.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113502510A | 公开（公告）日 | 2021-10-15 |
| 申请公布号 | CN113502510A | 申请公布日 | 2021-10-15 |
| 分类号 | C25D1/10（2006.01）I;B29C33/38（2006.01）I | 分类 | 电解或电泳工艺；其所用设备〔4〕; |
| 发明人 | 陈辉;吴大林;苏辰宇;何旭;吴靖轩;谈晓峰;邓志国;刘强;刘东明;刘华栋 | 申请（专利权）人 | 北京保利微芯科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京汉鼎理利专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 潘满根 |
| 地址 | 101300北京市顺义区空港工业区B区裕华路26号2层208 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种一体化微柱阵列金属模具的制作方法及其金属模具，其中制作方法，包括如下步骤：在光洁的玻璃上旋涂光刻胶，放置掩模版对光刻胶进行曝光、后烘，再将后烘的光刻胶在显影液中进行显影，最终得到微坑阵列胶膜结构；通过原子层沉积，在微坑阵列胶膜结构的侧壁和底部制作形成导电金属层，将带有导电金属层的胶膜结构放入盛有电铸液的容器中；通过脉冲电铸工艺对微坑阵列胶膜结构进行电铸，将电铸出的金属模具与玻璃基片剥离得到一体化金属模具。本发明的制作方法解决了电铸过程中由于高深宽比微坑阵列结构的盲孔中电铸液流动性差、电铸液中镍离子交换不充分等导致微结构生长不完整的问题。 |
