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一种微小金属丝/球可变形性的测量装置及方法

基本信息

申请号 CN200910154014.8 申请日 -
公开（公告）号 CN102042938B 公开（公告）日 2013-02-13
申请公布号 CN102042938B 申请公布日 2013-02-13
分类号 G01N3/28(2006.01)I 分类 测量；测试;
发明人 贾云 申请（专利权）人 浙江金凯微电子有限公司
代理机构 杭州九洲专利事务所有限公司 代理人 浙江金凯微电子有限公司
地址 322100 浙江省东阳市环城南路888号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种微小金属丝/球可变形性的测量装置，主要包括线夹、振幅杆、键合工具、键合平台和底座，底座上设有连接杆，线夹及振幅杆连接固定在连接杆上，底座上固定有键合平台，振幅杆的一端夹有键合工具，振幅杆的另一端安装有光栅尺，线夹上设有力传感器。一种微小金属丝/球可变形性的测量方法，键合工具向下运动直至金属材料与键合平台相接触，记录此时键合工具的位置z1；然后对金属材料施加指定变形载荷后，记录金属材料变形后的键合工具位置z2；计算出金属材料在特定变形载荷作用下所发生的塑性变形量，本发明有益的效果是：本发明通过测量装置对金属材料进行测量，然后进行可变形性能比较，执行速度快，分辨力高。