超精密运动台半实物仿真系统及方法
基本信息
| 申请号 | CN201911346193.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113031461A | 公开（公告）日 | 2021-06-25 |
| 申请公布号 | CN113031461A | 申请公布日 | 2021-06-25 |
| 分类号 | G05B17/02 | 分类 | 控制；调节; |
| 发明人 | 李庆鑫;王福东;赵冰洁;李子阳;张华良;孙海涛;张诚 | 申请（专利权）人 | 沈阳智能机器人国家研究院有限公司 |
| 代理机构 | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人 | 王倩 |
| 地址 | 110000 辽宁省沈阳市浑南区创新路155-3号A-018室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及超精密运动台半实物仿真系统及方法，上位机用于构建仿真环境，对超精密运动台进行建模与仿真测试，并将仿真程序部署到控制算法目标机或模型目标机中，获取控制算法目标机的控制参数和模型目标机的状态参数；控制算法目标机用于为上位机提供运行仿真程序实时代码的仿真环境，实时运行部属的仿真程序；模型目标机为上位机提供运行仿真程序实时代码的仿真环境，或者提供真实的超精密运动台的状态参数。本发明可以加快超精密运动台控制系统的开发速度，提高仿真的真实性和可信度，通过实时仿真和控制器的软硬件结合，增强了系统控制策略的实时性和可移植性，为超精密控制系统开发节约了成本，也为国内光刻机的产业化做好了准备。 |
